国产高端半导体检测设备在合肥高新区发布

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　　央广网合肥6月16日消息（记者徐鹏）6月15日，安徽凌光红外科技有限公司LUXETVERITAS微光显微镜及激光诱导电阻变化（EMMI+OBIRCH）二合一显微镜在合肥高新区正式发布。这款国内首创的集成化电性失效分析设备的正式发布，将为集成电路产业自主可控注入强劲动能。

　　当前，全球半导体产业步入先进制程时代，芯片内部结构愈发精密复杂，电性失效分析成为芯片研发迭代、良率提升与品质保障的核心环节。

　　在此背景下，凌光红外深耕光学成像与精密检测领域，依托自主研发的面阵锁相成像技术，持续攻关电性失效分析核心技术，接连推出锁相红外显微镜、微光显微镜、激光诱导电阻变化显微镜等系列产品，多项性能指标超越国际同类产品。此次推出的二合一集成设备，更是实现技术融合创新，填补国内市场空白。

　　据介绍，LUXETVERITAS二合一显微镜深度融合EMMI微光检测与OBIRCH激光诱导电阻变化两大主流失效分析功能，一机两用、高度集成，全面覆盖半导体全链条检测需求。在核心硬件与性能参数上，设备搭载深度制冷近红外相机与大口径自研1.35倍物镜，EMMI模块可精准定位纳安级微弱漏电，高效识别PN结击穿、闩锁效应、栅极氧化层漏电、多晶硅缺陷等典型失效问题；OBIRCH模块采用1300nm标准激光波段、500mW额定功率，可实现pA级超高精度电流放大测量，精准排查金属线路、导通孔、接触孔阻值异常等隐蔽缺陷。

　　一直以来，高新区多措并举加快发展集成电路产业打造“芯”高地。该区成立集成电路产业专班，制定专项产业政策，发布《合肥高新区化合物半导体产业发展实施方案》，构建“1个产业专班+1个产业政策+1个产业基金”的支撑体系，为产业高质量发展护航。

　　同时，制定集成电路产业链招商图谱，不断加强项目谋划。今年以来，高新区已成功签约集成电路产业项目18个，总投资额251.3亿元。通过“企业之家”平台和稳企包联工作，开展重点企业“一对一”的精准服务，做好项目开工、建设、运营、纳统等全流程服务。强化产业赋能，结合各类场景对接活动，实现产业链协同发展。

　　6月15日，安徽凌光红外科技有限公司LUXET VERITAS微光显微镜及激光诱导电阻变化（EMMI+OBIRCH）二合一显微镜在合肥高新区正式发布。这款国内首创的集成化电性失效分析设备的正式发布，将为集成电路产业自主可控注入强劲动能。