合肥集成电路产业再添头部力量。居全球半导体行业设备四大厂商的日本荏原制作外商独资企业合肥荏原精密机械有限公司工厂，日前在该区建成，充实了合肥集成电路产业链装备制造环节。

　　据介绍，日前，合肥荏原精密机械有限公司工厂一期正式竣工，该公司隶属株式会社日本荏原制作所精密电子事业公司，是一家以半导体制造设备为主的企业。其生产的设备干式真空泵位居全球半导体行业四大厂商，CMP研磨机市场占有率全球第二，并与国内几十家半导体领先企业合作关系密切。合肥工厂投资总额约3亿元，占地约30亩，分2期建设，项目一期主要从事干式真空泵的制造、维保服务等。

　　合肥荏原总经理桥本裕表示，近年来，合肥正在发展成为中国为数不多的半导体产业集聚地。在全球半导体市场需求高涨的背景下，为应对国际市场环境变化，荏原制作所不断扩充产能，在合肥积极布局，并以合肥工厂作为中国区半导体主阵地。同时，合肥荏原也将填补合肥半导体产业链中重要的一环，配合合肥市的晶圆制造龙头企业，共同为“芯屏汽合，集终生智”产业体系的建成完善贡献力量。

　　据了解，合肥经开区集成电路产业现累计落户项目56个，入驻集成电路企业67家，已初步形成设计、制造、封测、装备及材料各个环节较完整的产业链。“十四五”期间，该区将借助新能源汽车、智能家电等优势产业，重点布局第三代半导体、汽车电子等爆发式增长的战略新兴产业，促进产业链进一步完善。

　　竣工当天，合肥经开区管委会副主任、出口加工区管理局局长张露，合肥荏原总经理桥本裕，施工单位藤田（中国）建设工程有限公司总经理相园英速，合肥日商俱乐部会长、合肥大久保机械有限公司董事总经理伊野哲也等约50人出席了仪式。日本荏原制作所执行董事、精密电子事业公司总裁户川在日本总部视频全程参与并致辞。（李长龙 文/摄）

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