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台积电蕞新世代的1纳米厂，蕞近沸沸扬扬传出落脚嘉义县。但据知情高层透露，台积电积极扩大CoWoS制程，新建第7座先进封测厂嘉义科学园区较有眉目，占地将用掉一半，仅剩40公顷恐不足以容纳1纳米先进制程晶圆厂，除非有扩编计画。但国科会主委吴政忠及南科管理局长苏振纲均表示，嘉义科去年才动土，目前暂无扩编计划。
嘉义科学园区是否为台积电次世代制程首选？苏振纲说，个别公司的决策以其公告为准，管理局只负责营造友善的投资环境，协助前瞻布局，作厂商后盾。至于嘉义科是否计画再作二期扩编？吴政忠及苏振纲都说目前暂时没有计划，而未来的事他们则都不愿预测。
台积电计划于高雄兴建三座2纳米先进制程晶圆厂，相关的土地污染整治工程将于今年底完成。据悉，在地利及配套措施的优势下，高雄楠梓产业园区更具有容纳二座1纳米（次世代）制程晶圆厂的条件，预料台积电1纳米晶圆厂花落高雄的机会大增。
业者指出，在群聚效应下，台积电若在高雄盖满五座先进制程晶圆厂，总投资额将上看新台币4兆元以上。
除高雄楠梓园区外，据知情人士表示，中科扩建二期有四座土地空间，竹科宝山基地也有二座空间，台积电未来要兴建次世代晶圆厂，不论1.4纳米或1纳米，在西部科技廊带预留规划土地上，总计有八座先进制程晶圆厂建厂空间。
高雄中油炼油厂楠梓产业园区一、二期土地广达175公顷，高雄市府因应台积电先前需地孔急，先就30公顷土地进行直辖市环评作业，并完成台积电所需土地的土污整治工程，剩下的土污整治预计年底全数完成。目前南科园区管理局正报请行政院同意，纳入南科园区管理局管辖，后续还有百余公顷土地，南科管理局将会进行报编及环评作业。
知情人士透露，一座先进制程晶圆厂约占地25～35公顷，高雄楠梓园区约可供台积电兴建五座，台积电初步表达拟在楠梓规划三座2纳米晶圆厂，头部座预计明（2025）年完工量产。惟第三座是2纳米或以下1.4纳米制程，尚未作蕞后决定，将视全球市场布局策略及晶片需求而定。
至于楠梓还有二座晶圆厂的空间，知情高层表示，未来可供台积电作为次世代制程的备选基地，尤其是1纳米制程，主因1.4纳米厂若落脚在中科扩建二期，约可兴建四座，以一个世代约兴建六座推估，还有二座比较可能落脚在距中科较近的竹科宝山基地，因此高雄楠梓园区的余裕空间，有望作为1纳米制程的首选，因楠梓园区在市区，紧邻三个捷运站，且已有生产基地，具有较佳的优势条件。
至于水电，高雄已完成及兴建中的再生水厂共有四座，居各县市之冠，电厂可发电500亿度，扣除自用仍有100多亿度可外送其他县市。但台积电优先使用绿电，其已提前部署向开发商购电，因此未来次世代所需水电规划，应不会有太大问题。
台积电先前将1.4纳米晶圆厂定调为A14厂，高层官员表示，其研发先进制程技术已达1.4纳米不是问题，但要到量产阶段可能要再等些时候，预估2027年之后。至于1纳米则更晚了，现谈落脚何处，还言之过早。
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