合肥集成电路产业再添头部力量。安徽商报融媒体记者12日从合肥经开区获悉，居全球半导体行业设备四大厂商的日本荏原制作外商独资企业合肥荏原精密机械有限公司工厂，日前在该区建成，补充和丰富了合肥集成电路产业链上的装备环节。

　　据介绍，日前，合肥荏原精密机械有限公司工厂一期正式竣工，是一家以半导体制造设备为主的企业。其生产设备干式真空泵位居全球半导体行业四大厂商，CMP研磨机市场占有率全球第二，并与国内几十家半导体领先企业合作关系密切。合肥工厂投资总额约3亿元，占地约30亩，分2期建设，项目一期主要从事干式真空泵的制造、维保服务等。

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