合肥露笑半导体材料有限公司第三代功率半导体(碳化硅)产业园项目环境影响评价第二次公示(征求意见稿公示)
建设内容:项目总投资210000万元,项目用地88.2亩,其中一期用地约43.6亩。采用碳化硅升华法长晶工艺及SiC衬底加工工艺,购置晶体生长炉、晶锭退火炉、中央控制室、端面研磨机、外圆研磨机、多线切割机、晶片退火设备、倒角机、双面抛光、清洗机、测试设备、超净室、研发设备等先进设备。建成后形成年产24万片6英寸碳化硅衬底片的生产能力。
废水:本项目废水主要包括工艺生产废水、设备循环冷却废水、废气治理外排废水、纯水制备浓水以及生活废水等。
废气:本项目大气污染物主要是籽晶粘接废气、碳化硅衬底片检验擦拭废气、碳化硅衬底片清洗废气以及污水处理站产臭单元废气等。
固体废弃物:本项目生产产生的固废包括一般固废(不合格晶体、边角料、普通废包装袋、废坩埚、废钢丝,生活垃圾、污泥等)、危险废物(废切削液、废研磨液、废抛光液、废硫酸、废盐酸、废氢氟酸、废原料桶、废氨水等)以及生活垃圾。
噪声:厂区的6英寸晶体炉、多线切割机、研磨抛设备、清洗设备、污水泵、风机、冷却塔等设备的噪声是主要噪声源。
①废水污染防治措施:项目生产废水和生活污水经厂区自建污水处理站(“调节池+混凝沉淀+气浮池+水解酸化+SBR接触氧化+MBR膜法”处理工艺)处理达到《污水综合排放标准》三级标准和蔡田铺污水处理厂接管标准后纳入市政污水管网,由蔡田铺污水处理厂处理达GB18918-2002《城镇污水处理厂污染物排放标准》一级 A 标准和《巢湖流域城镇污水处理厂和工业行业主要水污染物排放限值》(DB34/2710-2016)中相关标准后排入板桥河。
②废气污染防治措施:衬底片加工清洗废气经酸碱洗涤塔处理后由1根15m高排气筒排放;污水处理站产臭单元全封闭,废气经管道收集后由1根15m高的排气筒排放。
③固体废弃物污染防治措施:项目产生的危险废物暂存于危废暂存间内,定期委托有资质单位处理;一般固废综合外售处理,生活垃圾由环卫部门清运。
合肥露笑半导体材料有限公司第三代功率半导体(碳化硅)产业园项目符合国家产业政策,符合长丰县双墩镇用地规划要求,符合国发〔2018〕22号《国务院关于印发打赢蓝天保卫战三年行动计划的通知》、《巢湖流域水污染防治条例》、“三线一单”等相关要求。项目采用了清洁的原料和先进的生产工艺,符合清洁生产要求;项目实施后,通过采取相应的污染防治措施,各类废气、废水、噪声可以做到稳定达标排放,固态废物能够得到合理处置,不会降低评价区域大气、地表水和声环境质量原有功能级别;通过采取相应环境风险防范措施,项目厂区可能导致的环境风险在可接受范围。
评价认为,拟建项目在建设和生产运行过程中,切实落实报告书提出的各项污染防治措施及“三同时”制度的前提下,从环境影响角度,项目建设可行
报告书征求意见稿纸质版:公众可通过电话、传真和电子邮件等方式与项目建设单位或承担环评的单位进行联系,联系方式如下:
本次环境影响评价征求意见的范围主要是:建设项目环境影响评价范围内的公民、法人、其他组织或者相关公众;公众意见表详见附件2。
在公告时间内,公众可向建设单位或环评单位通过e-mail、传真、信函或其他便利的形式提交书面意见。
合肥露笑半导体材料有限公司第三代功率半导体(碳化硅)项目征求意见稿.pdf

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