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合肥芯碁微电子新专利：聚焦总成或将改变光刻设备性能

　　在半导体行业中，光刻技术是制造芯片的关键环节。近期，合肥芯碁微电子装备股份有限公司申请了一项新专利，名为“聚焦总成及具有其的光刻装置”，该专利于2024年10月申请，并在2024年12月18日公布。这项创新的聚焦总成设计，将可能显著提升光刻设备的输出性能，进一步推动中国在半导体制造领...

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admin8个月前 (09-16)未命名113

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